¾ÏÀϹÝ
¡®Ä§ ÇÑ ¹æ¿ï¡¯·Î À¯¹æ¾Ï Áø´ÜÇÏ´Â ½Ã´ë ¿Ã±î
±è¼Èñ ±âÀÚ
ÀÔ·Â 2024/02/14 14:38
ÈÞ´ë¿ë °Ë»ç ÀåÄ¡(a)¿Í ȸ·Î±âÆÇ(b)./»çÁø=¿¬±¸ÆÀ Á¦°ø
¹Ì±¹¿¡¼ ħ ÇÑ ¹æ¿ï·Î À¯¹æ¾ÏÀ» Áø´ÜÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀÌ °³¹ßµÆ´Ù.
¹Ì±¹ Ç÷θ®´Ù´ë ÈÇаøÇаú ¿¬±¸ÆÀÀº ¼Ò·®ÀÇ Å¸¾× ¼Ó¿¡ µé¾îÀÖ´Â µÎ °¡Áö ¾Ï »ý¹° Ç¥Áö·Î À¯¹æ¾ÏÀ» Áø´ÜÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÈÞ´ë¿ë °Ë»ç ÀåÄ¡¸¦ °³¹ßÇß´Ù.
Ç¥Àû ¾Ï »ý¹° Ç¥Áö¿¡ ¹ÝÀÀÇϴ ƯÁ¤ Ç×ü·Î ó¸®µÈ ½ÃÇèÁö¿¡ Ÿ¾× »ùÇÃÀ» ¶³¾î¶ß¸®¸é Ÿ¾× »ùÇÃÀÌ Á¢ÃËÇÏ´Â ºÎÀ§¿¡ Àü±â ÆÞ½º°¡ º¸³»Á® Ÿ¾× ¼ÓÀÇ ¾Ï »ý¹° Ç¥Áö°¡ Ç×ü¿Í °áÇÕÇÏ°Ô µÈ´Ù. µÚµû¶ó Àü±Ø ÆÞ½ºÀÇ Ãâ·Â ½Ã±×³ÎÀÌ ¹Ù²î¸é¼ À¯¹æ¾Ï ¿©ºÎ¸¦ Æǵ¶ÇÏ°Ô µÈ´Ù.
¼Õ¹Ù´Ú¸¸ ÇÑ Å©±âÀÇ ÀÌ ÀåÄ¡´Â ½ÃÇèÁö¿¡ Ÿ¾× »ùÇÃÀ» ¶³¾î¶ß¸®¸é 5ÃÊ ¸¸¿¡ °Ë»ç°á°ú¸¦ º¸¿©ÁØ´Ù. °á°ú´Â ¡ã°Ç°ÇÑ À¯¹æ ¡ãÃʱâ À¯¹æ¾Ï ¡ãÁøÇ༺ À¯¹æ¾Ï ÃÑ ¼¼ °¡Áö´Ù. ¹°·Ð »ó¿ëȱîÁö´Â ¸¹Àº °ü¹®À» ³Ñ¾î¾ß ÇÑ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº Àΰ£ Ÿ¾× 21°³ »ùÇÃÀ» ÀÌ ÀåÄ¡·Î °Ë»çÇÑ °á°ú, °Ç°ÇÑ À¯¹æ Á¶Á÷°ú ¾Ï Á¶Á÷À» Á¤È®ÇÏ°Ô ±¸ºÐÇØ ³Â´Ù°í ¸»Çß´Ù. ƯÈ÷ Ÿ¾× »ùÇÿ¡ µé¾îÀÖ´Â À¯¹æ¾Ï »ý¹° Ç¥ÁöÀÇ ¹Ðµµ°¡ ±Ø¼Ò·®ÀÌ¶óµµ °Ë»ç °á°ú´Â Á¤È®ÇÏ´Ù°í °Á¶Çß´Ù.
Àú·ÅÇÑ ºñ¿ëÀ¸·Î »óÇ°ÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀº ÀåÁ¡ÀÌ´Ù. °Ë»ç¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ½ÃÇèÁö °¡°ÝÀº ¸î ¼¾Æ®¿¡ ºÒ°úÇÏ°í, Àç»ç¿ëÇÒ ¼ö Àִ ȸ·Î±âÆǵµ 5´Þ·¯ ¼öÁØÀÌ¾î¼ °Ë»ç ºñ¿ëÀÌ ¾ó¸¶ µéÁö ¾Ê´Â´Ù. ÀÌ¿¡ ºñÇØ ÇöÀç À¯¹æ¾Ï Áø´Ü¿¡ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â À¯¹æ ¿¢½º¼± ÃÔ¿µ, MRI(ÀÚ±â°ø¸í¿µ»ó), ÃÊÀ½ÆÄ °Ë»ç´Â °Ë»ç Àåºñ°¡ ÇÊ¿äÇØ ºñ¿ëÀÌ ¸¹ÀÌ µé°í Àú¼±·®ÀÇ ¹æ»ç¼± ³ëÃâÀ» °¨¼öÇØ¾ß ÇÑ´Ù°í ¿¬±¸ÆÀÀº ÁöÀûÇß´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸´Â ¹Ì±¹ ¹°¸®ÇÐ ¿¬±¸¼Ò(AIP) ÇмúÁö ¡®Áø°ø °úÇС¤±â¼ú B(Journal of Vacuum Science & Technology B)¡¯¿¡ ÃÖ±Ù °ÔÀçµÆ´Ù.
¹Ì±¹ Ç÷θ®´Ù´ë ÈÇаøÇаú ¿¬±¸ÆÀÀº ¼Ò·®ÀÇ Å¸¾× ¼Ó¿¡ µé¾îÀÖ´Â µÎ °¡Áö ¾Ï »ý¹° Ç¥Áö·Î À¯¹æ¾ÏÀ» Áø´ÜÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÈÞ´ë¿ë °Ë»ç ÀåÄ¡¸¦ °³¹ßÇß´Ù.
Ç¥Àû ¾Ï »ý¹° Ç¥Áö¿¡ ¹ÝÀÀÇϴ ƯÁ¤ Ç×ü·Î ó¸®µÈ ½ÃÇèÁö¿¡ Ÿ¾× »ùÇÃÀ» ¶³¾î¶ß¸®¸é Ÿ¾× »ùÇÃÀÌ Á¢ÃËÇÏ´Â ºÎÀ§¿¡ Àü±â ÆÞ½º°¡ º¸³»Á® Ÿ¾× ¼ÓÀÇ ¾Ï »ý¹° Ç¥Áö°¡ Ç×ü¿Í °áÇÕÇÏ°Ô µÈ´Ù. µÚµû¶ó Àü±Ø ÆÞ½ºÀÇ Ãâ·Â ½Ã±×³ÎÀÌ ¹Ù²î¸é¼ À¯¹æ¾Ï ¿©ºÎ¸¦ Æǵ¶ÇÏ°Ô µÈ´Ù.
¼Õ¹Ù´Ú¸¸ ÇÑ Å©±âÀÇ ÀÌ ÀåÄ¡´Â ½ÃÇèÁö¿¡ Ÿ¾× »ùÇÃÀ» ¶³¾î¶ß¸®¸é 5ÃÊ ¸¸¿¡ °Ë»ç°á°ú¸¦ º¸¿©ÁØ´Ù. °á°ú´Â ¡ã°Ç°ÇÑ À¯¹æ ¡ãÃʱâ À¯¹æ¾Ï ¡ãÁøÇ༺ À¯¹æ¾Ï ÃÑ ¼¼ °¡Áö´Ù. ¹°·Ð »ó¿ëȱîÁö´Â ¸¹Àº °ü¹®À» ³Ñ¾î¾ß ÇÑ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº Àΰ£ Ÿ¾× 21°³ »ùÇÃÀ» ÀÌ ÀåÄ¡·Î °Ë»çÇÑ °á°ú, °Ç°ÇÑ À¯¹æ Á¶Á÷°ú ¾Ï Á¶Á÷À» Á¤È®ÇÏ°Ô ±¸ºÐÇØ ³Â´Ù°í ¸»Çß´Ù. ƯÈ÷ Ÿ¾× »ùÇÿ¡ µé¾îÀÖ´Â À¯¹æ¾Ï »ý¹° Ç¥ÁöÀÇ ¹Ðµµ°¡ ±Ø¼Ò·®ÀÌ¶óµµ °Ë»ç °á°ú´Â Á¤È®ÇÏ´Ù°í °Á¶Çß´Ù.
Àú·ÅÇÑ ºñ¿ëÀ¸·Î »óÇ°ÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀº ÀåÁ¡ÀÌ´Ù. °Ë»ç¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ½ÃÇèÁö °¡°ÝÀº ¸î ¼¾Æ®¿¡ ºÒ°úÇÏ°í, Àç»ç¿ëÇÒ ¼ö Àִ ȸ·Î±âÆǵµ 5´Þ·¯ ¼öÁØÀÌ¾î¼ °Ë»ç ºñ¿ëÀÌ ¾ó¸¶ µéÁö ¾Ê´Â´Ù. ÀÌ¿¡ ºñÇØ ÇöÀç À¯¹æ¾Ï Áø´Ü¿¡ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â À¯¹æ ¿¢½º¼± ÃÔ¿µ, MRI(ÀÚ±â°ø¸í¿µ»ó), ÃÊÀ½ÆÄ °Ë»ç´Â °Ë»ç Àåºñ°¡ ÇÊ¿äÇØ ºñ¿ëÀÌ ¸¹ÀÌ µé°í Àú¼±·®ÀÇ ¹æ»ç¼± ³ëÃâÀ» °¨¼öÇØ¾ß ÇÑ´Ù°í ¿¬±¸ÆÀÀº ÁöÀûÇß´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸´Â ¹Ì±¹ ¹°¸®ÇÐ ¿¬±¸¼Ò(AIP) ÇмúÁö ¡®Áø°ø °úÇС¤±â¼ú B(Journal of Vacuum Science & Technology B)¡¯¿¡ ÃÖ±Ù °ÔÀçµÆ´Ù.